中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室的前身是中国科学院北京真空物理开放实验室，成立于1985年。实验室的目标是达到该领域的国际一流水平。二十多年来，实验室致力于纳米材料及其在信息器件和能源器件中应用的基础和应用基础研究，取得了一系列具有国际前沿水平的成果，曾四次荣获“中国十大科技进展/新闻”,并于2008年荣获国家自然科技二等奖。 目前实验室由9个研究组构成。