用于生长大尺寸外延片的石墨盘及其使用方法
专利名称:
用于生长大尺寸外延片的石墨盘及其使用方法
英文名称:
专利号:
专利类别:
发明
专利证书号:
申请号:
2020111895881
第一发明人:
杨军伟
其它发明人:
宋华平;陈蛟;黄敏;王文军;简基康;陈小龙
申请日期:
专利授权日期:
2022-03-15
国外申请日期:
国外申请方式:
缴费情况:
实施情况:
专利摘要:
其它备注: