报告摘要：近年来面对大科学工程、航空航天、半导体技术等领域的发展，在欧盟的“面向生产环境的真空计量技术”和美国NIST的“测量创新科学项目”的推动下，利用微纳制造可控制作固定流导元件实现极小流量精确控制成为真空领域研究热点。介绍通过微纳加工方法和封装工艺获得的多孔材料、石墨烯和纳流控通道等流导元件，阐述其制作流程、封装技术和性能特性。在质谱差分、超高真空测量、体积和形变测试、MEMS电子元器件封装和真空计量系统小型化等方面，新型流导元件显示了独特的优势。报告人还将介绍团队围绕国家大科学工程和重大需求在超高真空及低温方面的相关项目成果。

报告人简介：王旭迪，2005年中国科技大学博士毕业，2005～06、2016～17分别在英国卢瑟福国家实验室和美国密歇根大学安娜堡分校进行访问研究。合肥工业大学真空与过程装备系教授，博士生导师。主要从事真空检测与计量、微纳制造方面的教学与科研工作。

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